RSE干式螺桿真空泵應用案例

RSE干式螺桿真空泵：特點(diǎn)、優(yōu)勢、應用

排氣路徑短，減少反應物沉積

干式螺旋斑空泵相較于其他形式的真空泵，因氣體于泵浦內的傳愉路徑最短，最不易產(chǎn)生反應物沉積的現象。

線(xiàn)形密封性佳，泵浦性能最優(yōu)

專(zhuān)利轉子密封線(xiàn)形，轉子密封性佳，轉子能以較大嚙合間隙達到更快的抽氣效果。由于嚙合間隙較大，泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死，轉子也較不易因磨耗而需更換。

結構簡(jiǎn)單，故陣率低，維修容易

螺旋式真空泵因只需俐用一對轉子互相嚙合達到密封效果，結構上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設計，降低轉子與隔板沉積卡死的風(fēng)險。且因其結構單純，拆解維修也較容易，因此能縮短維修時(shí)程，降低維修費用。

徽電腦操作，遠端監控，保護周全

微電腦操控提供真空泵浦最簡(jiǎn)易的操作方式并能顯示泵浦完整的運轉狀態(tài)，方便使用者對泵浦應用狀況進(jìn)行調整，在泵浦產(chǎn)生問(wèn)題前進(jìn)行項防保養。遠端監控系統能提供使用者方便的監控工具，使用者不需到現場(chǎng)即能查詢(xún)泵浦之運轉狀況。

1、專(zhuān)用冷卻液冷卻，避免了冷卻水可能對殼體造成腐蝕。

2、移動(dòng)式操作頁(yè)面，方便操作；顯示真空泵實(shí)際工作狀況，并可選中英兩種文字顯示，切實(shí)貼近客戶(hù)。

3、軍規電源接頭，安全方便。

4、氮氣加熱器，使真空泵更適應于CVD、PECVD等半導體制程。

5、控制訊號及通訊信號接口，可對真空泵進(jìn)行遠端監控。

廣泛應用于：面板、太陽(yáng)能、冶金系統、鍍膜、電漿製程、製程氣體抽取、生技/製藥、化工產(chǎn)業(yè)