無(wú)油爪式真空泵在半導體工業(yè)應用的優(yōu)勢

爪式真空泵是為半導體工業(yè)發(fā)展而研制的，它有如下一些優(yōu)勢和特點(diǎn)：

1）泵腔內無(wú)潤滑劑，因而無(wú)返油現象發(fā)生；

2）抽氣原件為非接觸式的可實(shí)現高速運轉（3000r/min）；

3）與被抽氣體接觸的表面防腐蝕耐磨損；

4）在泵腔內氣流垂直運動(dòng)，少量的顆粒物和液體等在重力作用下易于排除；

5）該泵型式多樣，功能可以擴展，泵的主體，帶有齒輪、馬達以及氣體凈化設備，附件有入口處防反流的閥門(mén)，出口處有截流閥，電氣監控及報警裝置；

6）齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤滑，上端蓋內的軸承用PFPE油脂潤滑；

7）第二、三、四級均有凈化氣體入口，以改善被抽介質(zhì)順利通過(guò)泵腔，無(wú)此需要的可以不用通凈化氣體，凈化氣體用三個(gè)流量計分別調節，相互都是獨立的，以保證節約惰性氣體，利用三個(gè)電磁閥可微調其流量；

8）入口防返流閥能將被抽容器與泵腔隔斷，出口處截流閥能將泵的出口封閉起來(lái)，將泵通以?xún)艋瘹怏w，這些閥可自動(dòng)開(kāi)關(guān)，好凱德真空系統有可靠的保護，杜絕了向真空室的返流；

9）電氣監控與操作，主要有電源，遠距離操作和開(kāi)關(guān)閥等的控制。

當爪式真空泵出現故障時(shí)泵能自動(dòng)停車(chē)，兩個(gè)閥門(mén)一齊關(guān)閉或截流閥關(guān)閉。動(dòng)力和遙控有一臺變壓器和整流器，以提供所需的電流電壓，以滿(mǎn)足監控過(guò)程的需要。動(dòng)力電源、繼電器用以對馬達的接通與斷開(kāi)及馬達超負荷的保護。操作過(guò)程有顯示器，有按鈕控制，可控制馬達、防返流閥的控制閥和截流閥的控制閥，第二、三、四級的凈化氣體的通斷閥，惰性氣體的主閥，凈化氣體向軸封處通氣用的閥門(mén)等。故障的監控報警或停車(chē)，系統安全自動(dòng)控制，也可按鈕控制。啟動(dòng)時(shí)，打開(kāi)凈化氣體，泵正常運行3min，凈化氣體向各段涌入，通凈化氣體對泵性能有些影響。每當遇到緊急情況可按自動(dòng)停車(chē)鍵，凈化氣體繼續接通，關(guān)閉入口防返流閥，各級泵凈化1min，凈化結束，馬達再停車(chē)，關(guān)閉惰性氣體截止閥。