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干式螺桿真空泵的使用流程是什么?質(zhì)量怎么樣?

文章出處:真空泵知識 網(wǎng)站編輯: 雅之雷德 閱讀量: 發(fā)表時(shí)間:2020-11-11 16:02:16

  干式螺桿式真空泵是一種工作容積作回轉運動(dòng)的容積式機械真空泵。氣體的壓縮依靠容積的變化來(lái)實(shí)現,螺桿泵的一對轉子在機殼內作回轉運動(dòng)來(lái)達到容積的變化。其工作容積在周期性擴大和縮小的同時(shí),空間位置也隨之變更。干式螺桿真空泵,是利用一對螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設備,兩螺桿經(jīng)精細動(dòng)平衡校正,由軸承支撐安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,泵工作時(shí),相互之間無(wú)磨擦,轉動(dòng)平穩,噪音低,工作腔無(wú)需潤滑油,因此干式螺桿式真空泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合,極限真空更高,消耗功率更低,具有節省能源,免維修等優(yōu)勢。下面就看一下使用的流程吧。

干式螺桿真空泵

  一、日常檢查。

  檢查干式螺桿真空泵是不是安裝橫平豎直。地腳螺釘是不是擰緊。電動(dòng)機連接線(xiàn)是不是接駁正常。電動(dòng)機轉向是不是正常,如果反向轉動(dòng)的話(huà),應馬上改正。進(jìn)氣管道、排氣管道是不是密封。冷卻水管道是不是接好、漏水,消音器是不是安裝好,進(jìn)氣口閥門(mén)是不是安裝好。然后觀(guān)察泵轉動(dòng)方向是不是和泵上所標識的是不是一樣,如果不一樣,馬上改正。每次運行螺桿真空泵,都須使泵先空運行一小段時(shí)間,將泵內和消音器內的液體排出,直到排氣口。無(wú)液體排出,為泵正常運行作準備。打開(kāi)冷卻水閥門(mén)。

  二、運行和轉動(dòng)。

  打開(kāi)干式螺桿真空泵進(jìn)氣閥門(mén)和關(guān)閉進(jìn)氣口。應觀(guān)察轉動(dòng)中的各項數據是否正常,對泵保護有很重要。由于干泵的特殊構造,其轉動(dòng)以后的電流和機械泵、羅茨泵等不一樣。干式螺桿式真空泵在極限壓力情況下,電流會(huì )變大,是屬于正常情況。在同大氣情況下會(huì )小,也是屬正常情況,

  三、使用后停機檢查。

  當干式螺桿真空泵使用后,應關(guān)閉進(jìn)氣口閥門(mén)。打開(kāi)排氣口閥門(mén),應切斷泵電動(dòng)機電源。在溫度低的時(shí)候,要放盡泵內的冷卻水,以免在冬季或在寒冷的環(huán)境,泵內的水凍壞泵體,致干式螺桿真空泵不能運行。

  伴隨著(zhù)國內工業(yè)界的發(fā)展趨勢,在半導體工業(yè)、液晶顯示屏等工藝生產(chǎn)制造中,對清潔真空環(huán)境的需求變得越來(lái)越高,而一般的有油真空泵現已達不到這樣的需求了。干式螺桿真空泵以其抽速范圍寬、構造簡(jiǎn)單緊密、抽氣腔元件無(wú)摩擦、使用壽命長(cháng)、能耗低、無(wú)油污染等優(yōu)勢,獲得越來(lái)越多生產(chǎn)制造和應用企業(yè)的重視,在干式真空


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