適用于化學(xué)工業(yè)的干式真空泵有哪些?

　　早期的干式泵是由羅茨型多級轉子或爪型多級轉子串聯(lián)而成，它們與泵腔內沒(méi)有接觸，用同步齒輪驅動(dòng)兩個(gè)平行的轉子軸，由于泵腔內沒(méi)有液體，因此內部間隙應盡量保持很小，以減少氣體返流。但這一微小的間隙對過(guò)程顆粒的堆積非常敏感，目前解決這一問(wèn)題的方法是：將惰性氣體從泵的入口中充入，或用惰性氣體稀釋可凝固的腐蝕氣體。

　　在半導體行業(yè)應用的成功，也激勵了干泵制造商將其引入化工行業(yè)，盡管干泵價(jià)格昂貴，但操作成本較低，特別是不存在廢液處理問(wèn)題，這有利于環(huán)境和健康。現在干泵有很多種類(lèi)型，包括渦旋泵，隔膜泵，干旋片泵，羅茨型干泵，爪式干泵和螺旋真空泵。羅茨型干泵、爪式干泵和螺桿式真空泵在化工行業(yè)應用中占主導地位。

　　一、圓柱型干泵

　　羅茨型干泵是化工行業(yè)廣泛使用的一種較大的干式真空泵。該泵是由三層三葉型羅茨轉子串聯(lián)而成，它們安裝在同一根軸線(xiàn)上，各個(gè)轉子之間由中段隔開(kāi)，形成各個(gè)級別的泵腔，上一級的排氣口與下一級的進(jìn)氣口串聯(lián)，各個(gè)級別的排氣口串聯(lián)進(jìn)行抽氣。所有級別的轉子直徑和形狀都相同，所有級別轉子的寬度朝高壓側方向變窄，但這種設計都要求級間冷卻，也就是，所有級別的轉子經(jīng)過(guò)熱交換器冷卻后，再進(jìn)入下一級別的入口。

　　二、干爪泵

　　爪式泵已于1930年進(jìn)行了研究，并首次應用于壓縮機工業(yè)，爪式轉子具有高壓高壓縮比的特點(diǎn)。爪式轉子還有兩種功能：一種是用于截獲、輸送和壓縮氣體，另一種類(lèi)似于閥門(mén)，用于在適當的時(shí)候開(kāi)啟和關(guān)閉吸氣和排氣。現有此類(lèi)泵的結構設計多采用一級羅茨轉子與三級爪式轉子串聯(lián)，以羅茨轉子為高真空級，以爪式轉子為壓縮排氣級。

　　三、螺旋真空泵

　　螺旋真空泵是20世紀90年代初出現的一種理想的泵種，具有抽速范圍寬，結構簡(jiǎn)單緊湊，泵腔內無(wú)摩擦組件，能耗低，無(wú)廢液排放，操作成本低等諸多優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應用于半導體、光電、化工、醫藥、石化、空間模擬、低壓風(fēng)洞等領(lǐng)域。

　　螺旋真空泵工作原理：螺旋機構由一對同步齒輪驅動(dòng)，螺桿反向旋轉，螺旋機構在螺旋機構和螺旋機構之間，螺旋機構和泵腔之間有一定的間隙，無(wú)金屬接觸。這樣螺桿在轉動(dòng)的過(guò)程中就會(huì )從進(jìn)氣口被吸進(jìn)和排出。

　　相對于羅茨型干泵和爪式泵，螺桿式真空泵抽氣距離短，不受干擾，能快速排出，從而使泵中的微粒雜質(zhì)不易積聚。

　　此外，因為大多數螺桿真空泵用于抽除腐蝕性或危險氣體，為了防止泵腔和螺桿被腐蝕或銹蝕，并延長(cháng)泵的使用壽命，可根據不同用途采用下列不同涂層：

　　液體環(huán)形泵結構簡(jiǎn)單，運動(dòng)部件少，操作、維修方便，價(jià)格也比較低廉。螺旋真空泵雖然價(jià)格較高，但其性能非常優(yōu)越，運行費用較低，不會(huì )產(chǎn)生廢液，既節能又環(huán)保。因此，以上兩種真空泵最適合在化工過(guò)程中使用。