這些真空泵品牌為何先后推出渦輪分子泵新品？

2020年12月10日，普發(fā)真空推出全新HiPace 350 和 450 渦輪分子泵，該產(chǎn)品特別適用于質(zhì)譜分析、電子顯微術(shù)、測量技術(shù)、粒子加速和等離子體物理方面的應用。新產(chǎn)品的應用領(lǐng)域十分廣泛，除了用于分析、真空工藝和半導體技術(shù)外，還可用于真空鍍膜、研發(fā)以及工業(yè)領(lǐng)域。

2020年5月14日，愛(ài)德華真空發(fā)布EDWARDS渦輪分子泵nEXT 730 & 930新品。該新品有更高抽速（氮氣）——730l/s、925l/s；可360°任意角度安裝；TIC控制器可同時(shí)控制分子泵和三路真空規管；維護間隔長(cháng)，用戶(hù)可自主維護；設計靈活等特點(diǎn)。

除了這2個(gè)品牌，安捷倫也發(fā)布了全新一代渦輪分子泵，稱(chēng)該全新產(chǎn)品具有高性能、高可靠性的同時(shí)，還能做到更經(jīng)濟。好凱德新推出的一款渦輪分子泵機組，是專(zhuān)為半導體行業(yè)設計的。

這些知名真空泵品牌為何花大量時(shí)間在渦輪分子泵的新品設計和生產(chǎn)中呢？渦輪分子泵市場(chǎng)又有哪些新發(fā)展？

渦輪分子泵是利用高速旋轉的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。其優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快，能抗各種射線(xiàn)的照射，耐大氣沖擊，無(wú)氣體存儲和解吸效應，無(wú)油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。好凱德渦輪分子泵還具有較高的性?xún)r(jià)比和靈活的安裝方式，高抽速不受高負荷或雜質(zhì)氣體侵入影響。

渦輪分子泵主要應用在半導體、光學(xué)、鍍膜和變壓器領(lǐng)域；同時(shí)也廣泛應用于核物理、電真空和表面科學(xué)等領(lǐng)域。半導體領(lǐng)域中，分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。

由于半導體行業(yè)發(fā)展迅速，分子泵的市場(chǎng)拓展速度很快。

在國外，分子泵在半導體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)替代低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置中，用復合分子泵和牽引泵作為主泵。

隨著(zhù)我國半導體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開(kāi)發(fā)各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿(mǎn)足半導體等不同領(lǐng)域的個(gè)性化需求。

國外品牌已先一步推出新品分子泵以適應快速發(fā)展的半導體行業(yè)，相信很快國內真空泵品牌也會(huì )有新突破。