干式真空泵的投入成本特點(diǎn)：1高2低

蒸汽噴射泵、濕式泵、干式泵是常用的真空泵類(lèi)型。

這些年，由于對節能減排和環(huán)境保護日漸重視起來(lái)，干式泵被更多業(yè)內人士關(guān)注并選擇。

干式泵以羅茨泵、螺桿泵、爪式真空泵三大類(lèi)型為主。干式真空泵的投入成本特點(diǎn)可以簡(jiǎn)單總結為1高2低，即投資成本較高，但是運行成本和維修成本都較低。

（羅茨泵）

無(wú)油干式機械真空泵，簡(jiǎn)稱(chēng)干式機械泵，是指泵能從大氣壓力下開(kāi)始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中區，泵腔內無(wú)油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。

干式真空泵的特點(diǎn)：

---沒(méi)有工業(yè)生產(chǎn)液流的污染

---深度真空，運轉更靈活

---無(wú)廢水，無(wú)污染，較少或無(wú)廢棄物處理費用

---在泵排放口立即回收溶劑

---消耗水、電、氣等費用較低（運行成本較低）

（干式螺桿泵）

（爪式真空泵）

干式泵的成本具體說(shuō)明

***投資成本較高

***較低的維修成本

***較低的運行成本

   —延長(cháng)維修服務(wù)間隔時(shí)間和軸承壽命。

   —在運作范圍內，電力消耗較低。因此，在容能比方面節能效果更好。

   —無(wú)受污染的油要進(jìn)行處理（處理齒輪箱以外）。

干式真空泵的應用是廣泛的，可用于多晶硅制備工藝、半導體刻蝕工藝，還有化學(xué)工業(yè)、醫藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等領(lǐng)域也適合使用干式真空泵。